中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称中微公司，AMEC）成立于2004年，是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司。公司长期聚焦高端半导体及泛半导体设备研发、生产和服务，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新，为集成电路和相关先进制造领域提供关键设备及工艺解决方案。

依托在半导体装备产业多年积累的专业技术，中微公司业务覆盖半导体芯片前端制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造以及其他微观工艺领域，形成以等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备、MOCVD设备等为核心的产品体系，并持续布局量检测及其他微观加工设备。

中微公司开发的电容性等离子体和电感性等离子体刻蚀设备覆盖多种刻蚀应用，其等离子体刻蚀设备已应用于国内外客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的芯片加工制造和先进封装。公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上实现量产应用，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场形成较强竞争力。

中微公司高度重视研发和创新，持续推进刻蚀、LPCVD、ALD、EPI等产品和技术开发，并不断强化研发制造基础。公司在上海建设研发制造运营体系，临港产业化基地占地约157亩、总建筑面积约18万平方米，为进一步提升生产能力、研发能力和科技创新水平提供支撑。

中微公司致力于开发作为数字时代基础的微观加工半导体设备，坚持技术创新和产品差异化，持续为客户和市场提供高性能、高生产效率和高性价比的设备解决方案。公司通过持续创新和全球化服务提升客户技术水平与生产效率，推动半导体装备产业和先进制造业高质量发展。

企业官网：https://www.amec-inc.com/